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    国内专利
    一种碳化硅的制备方法
    专利类别
    发明授权
    申请号
    CN202010922063.8
    申请日期
    2020-09-04
    第一发明人
    武荣成; 陆鹏飞; 崔彦斌; 许光文
    专利授权日期
    2023-06-30
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